国内首台2.5D/3D高效率封装光刻机发运

原书名：欧洲各国下线2.5D/3D高科技PVC光刻机录事

● 本报记者 王辉

2月7日，欧洲各国下线2.5D/3D高科技PVC光刻机录事仪式在广州材料科学装备（集团）股份有限公司（原称“广州材料科学”）坐落广州浦东张江的集团总部举行。广州电气党委书记、副总经理冷伟青在录影致辞中所表示，高科技PVC光刻机作为自带电路两大电子元件是必须有所突破的关键两大技术之一。广州电气创造了第三世界和世界的许多从业者第一。欧洲各国下线2.5D/3D高科技PVC光刻机为广州电气新添光彩一笔。

广州电气副副总经理为副广州材料科学党委书记、副总经理干频在致辞中所表示，本次录事的欧洲各国下线2.5D/3D高科技PVC光刻机，是换装PVC光刻机的一次全面升级，很强更实时、更高套刻精度、更大爆出占地，将助力客户充分利用ROM的甲基自带，以相对来说较低的成本充分利用ROM系统的性能降低。广州材料科学副总经理黄栋梁介绍，新技术在高端、高科技ROM上想得到分析方法，从业者对PVC光刻机提出了更大爆出占地、更实时、更高套刻精度的要求。

近年来，广州材料科学紧跟从业者发展趋势，结合客户分析方法效益，在广州市工程项目、广州市经信委的拥护下，以广州市战略性新兴产业中长期为依托，研制高科技PVC光刻机。

资料显示，广州材料科学于2002年3月在广州电气、广州科投等国资企业拥护下成立，面向集成电路、新潮流集成电路领域持续开发了一系列相关高端装备。广州电气集团为广州材料科学第一大股东。

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